德中（天津）精密装备有限公司• 多种金属的蚀刻集成在一台设备中，配合 QDR 水洗槽，一台设备完成多种金属膜层的蚀刻；
• 智能化程序，客户可根据金属膜层顺序，自主选择蚀刻顺序；
• 底部蚀刻液上涌采用压力均衡设计，确保槽内各点药水流动速度一致，每片基片、基片上每点蚀刻速度一致。
浸泡+抛动+溢流蚀刻设备
EU350/450/650是将基板放置在蚀刻夹具中，采用化学蚀刻液浸泡+溶液自下而上溢流+基板抛动方式进行蚀刻，适合多种薄膜金属层的蚀刻，如：Au / Cu / Cr / Ti-W / Ni / TaN等金属膜层。
• 多种金属的蚀刻集成在一台设备中，配合 QDR 水洗槽，一台设备完成多种金属膜层的蚀刻；
• 智能化程序，客户可根据金属膜层顺序，自主选择蚀刻顺序；
• 底部蚀刻液上涌采用压力均衡设计，确保槽内各点药水流动速度一致，每片基片、基片上每点蚀刻速度一致。